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  微小型熱式氣體質量流量計
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微小型熱式氣體質量流量計
關鍵字:流量計,孔板流量計,浮子流量計,傳感器,質量流量計,,,,,,,

                                                                                                                                                                   

                                                                                                                                            

 

 

 

 

一、 產品概述
 
淮安華立儀表采用關鍵矽微機械加工技術的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優勢的MEMS Microelectromechanical systems氣體質量流量計和流量控制器,主要應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
該產品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應時間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補償


二、技術參數


2.1 測量介質:各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)

2.2   流量范圍:  DN3   30-300ml/min

                            DN6   60-600ml/min

                            DN8   80-800ml/min

                            DN10 100-1000ml/min            

                         注:(a)以上流量的測量介質為空氣而言;

                                (b)以上流量的標準狀態20℃,101.325kPa

                                (c) 每個口徑量程范圍均可擴大

                                (d)特殊需要可聯系廠家單獨標定

2.3   流量測量準確度:±1.5%FS;±2.5%FS
2.4   工作溫度范圍:0-55℃;
2.5   工作壓力范圍:0.3MPa0.6MPa1.0MPa
2.6   供電電源:24VDC±10%
2.7   輸出信號:4-20mARS485通訊;
2.8   環境溫度:0-55℃;
2.9   顯示位數:瞬時流量為三位,累積流量10位。
 

三、    工作原理


 uf感熱式芯片技術是采用大規模集成電阻的工作,保證傳感器的高度一致,解決了:“現在傳統的熱式質量流量計無法保證其傳感器的電阻值的一致性,導致傳感器在各個法線方向熱傳導速度的差異,所以傳統的熱式質量流量計在傳感器校準和使用過程中產品穩定性存在問題,實際應用中的熱式質量流量計價格昂貴,大規模應用比較難的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質量流量計,同時可靠性穩定,安全性更好。


在芯片上,一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的特有工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導,使動態響應時間大大提高。當傳感器工作時,微熱源與環境溫度之間保持一定的溫差(通常是70℃),在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動,則在氣道中溫度場可用下述公式來計算:



 

式中:氣體流動方向為,速度為v,a為擴散率。          
                   如上圖(式)所示,當氣體流過芯片時,將會帶走熱量,通過質量流量qm和電壓V的對應關系來計算流體的質量流量。



四、產品特點
 

1、產品集成度高,集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體,并可實現自動調節、控制閥門。
2μf微流量感熱式傳感器采用大規模集成電路生產技術和材料加工技術,使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升。
3、微小流量氣體測量,ml/min級的微流量測控,實現微小流量測量的數字化。
4、單個芯片的卓越流量特性的微處理技術,使流量計的量程范圍大大提高。
5、機電一體化優化設計,智能化的數據處理技術,使流量計具有更好的重復性,實現了計量的準確、可靠。
6、結構的優化,MFM流量計的壓力損失達到最小化。
7、采用新的MF傳感技術,使流量計工作更穩定、可靠。
8、獨創零點自校功能,測量更準確。
9、多種氣體實際標定,全量程補償。
10、快速響應、數據自動存儲,配合上位機可實現網絡集中管理。
11、規格齊全,量程范圍寬,可根據用戶要求單獨標定。
12、精度等級高,滿足用戶高精度測量要求。
13、獨有的流量計報警功能,使監控更可靠。
14、操作、設置界面友好、簡便,可根據需要自行設定相關參數。
15、運用行業多,是科研院所、分析儀表行業、半導體行業、光伏行業、玻璃鍍膜、石油化工行業微小氣體流量控制產品升級換代的首選。


 、產品分類與命名    


微氣體質量流量計的型號命名


MF?

?

?

?

?

?

?

?

?

?

 

 

 

 

 

 

 

 

 

接頭類型

 

0:普通

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1Swagelok接頭

 

 

 

 

 

 

 

 

2:其他

 

 

 

 

 

 

 

 

連接形式

 

0:快速接頭

 

 

 

 

 

 

 

1:法蘭式

 

 

 

 

 

 

 

標定方式

 

0:空氣

 

 

 

 

 

 

 

1:氫氣

 

 

 

 

 

 

 

2:氧氣

 

 

 

 

 

 

3:氮氣

 

 

 

 

 

 

品種

 

01:有顯示;有485通訊口;有4-20mA輸出

 

 

 

 

 

 

02:有顯示;有485通訊口;無4-20mA輸出

 

 

 

 

 

 

03:有顯示;無485通訊口;有4-20mA輸出

 

 

 

 

 

 

04:有顯示;無485通訊口;無4-20mA輸出

 

 

 

 

 

 

05:無顯示;有485通訊口;無4-20mA輸出

 

 

 

 

 

 

06:無顯示;無485通訊口;有4-20mA輸出

 

 

 

 

 

材質

 

0304不銹鋼

 

 

 

 

 

1316不銹鋼

 

 

 

 

 

2316L不銹鋼

 

 

 

 

 

3:鋁

 

 

 

 

 

4:其他

 

 

 

 

壓力

 

0≤0.3Mpa

 

 

 

 

1≤0.6Mpa

 

 

 

 

2≤1.0Mpa

 

 

 

被測介質

 

 

流量范圍

 

產品通徑

 

03DN3

 

06DN6

 

08DN8

 

10DN10

產品類型

 

M:質量流量計

C:質量流量控制器


 

六、安裝與接線
 

7.1       安裝注意事項
                               安裝時必須注意場合,不能安裝于管路有雜質的地方;


                                安裝時應使流量計上的流向標志所示方向與流體流動方向一致;


 7.2   上游管道應有10DD為管道內徑)的直管段,下游應有5D的后直管;


 7.3   儀表安裝處的管道內應光滑清潔,無突出,流量調節閥應安裝在流量計的下游;


 7.4   儀表水平安裝,安裝使用中嚴防漏氣;


 七、儀表的機械尺



 


 

L

D

H

G

DN3

74

30

127

G1/8

DN6

74

30

127

G1/4

DN8

90

30

127

G3/8

DN10

130

35

127

G1/2


 

 
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